气相色谱负压进样分析磷烷中的杂质

摘要：

主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法,一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、 O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3.并验证方法的可行性.

关键词： 磷烷 微量杂质 气相色谱负压法 可行性分析

作者: 程鹏 席宏海 曾素芳

作者单位: 爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处,北京100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十九次年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 155-159

在线出版日期: 2015-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）