流态化多晶硅CVD过程的数值模拟

摘要：

本文基于CFD分析手段,针对流化床反应器内复杂的多晶硅CVD气-固反应过程,对流化床内的反应过程和反应时间、进口硅烷浓度、进口气速等情况进行了分析,确定了部分操作条件(进料气速5.5umf、硅烷摩尔进口浓度15％),对高纯度多晶硅实际生产工艺的设计提供理论支持.

关键词： 流态化多晶硅 流化床反应器 化学气相沉积 数值模拟

作者: 宗芳 李建隆

作者单位: 青岛科技大学化工学院 青岛266042

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十二届非均相分离学术交流会暨2015厦门台湾两地过滤与分离技术交流大会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 197-204

在线出版日期: 2015-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）