单晶硅炉谐波治理分析
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备.在硅料熔化过程中会产生大量高次谐波,污染电网,危害用电设备.本文阐述了采用晶闸管投切集中滤波补偿系统(TSC)及单晶炉就地有源滤波装置(APF)对单晶炉供电系统进行动态谐波治理及无功补偿的技术方案,改变了大多数厂家采取传统的PF无源滤波器和单纯的有源滤波器进行治理谐波的思路,避免了无源滤波器易发生并联谐振现象和单纯使用APF成本过高的问题,从而对公司产生了良好的经济与社会效益.
单晶硅炉 供电系统 谐波治理 无功补偿
陈津 刘祥国
淄博康润电气有限公司,淄博255000 济宁供电公司,济宁272000
国内会议
西安
中文
48-53
2014-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）