计算机控制非球面加工精磨阶段的检测技术

摘要：

讨论了计算机控制非球面加工（CCOS）过程中精磨阶段的面形误差数字化技术。提出了线性插值法代替惯用的泽尼克多项式拟合用于表面的精磨。并给出应用实例，验证了该方法的有效性。

关键词： 非球面 面形误差 检测 精磨

作者: 余景池 张学军 孙侠菲

作者单位: 光机所应用光学国家重点实验室,中国科学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 38～40

在线出版日期: 1998-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）