关键词： 非晶碳薄膜 离子注入 扫描电子显微镜
作者: 薛群基 徐洮 吕晋军
作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(兰州)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一次全国电子显微学会议
会议地点: 昆明
会议语种:中文
页码: 595～596
在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）