ＳＥＭ在非晶硅薄膜生长机理研究中的应用

关键词： 非晶硅薄膜生长 机理研究 扫描电镜技术应用

作者: 张志勇 王雪文 赵武 周水仙 张志勇 王雪文

作者单位: 大学电子科学系(西安) 理工大学(西安) 院西安光机所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 53～54

在线出版日期: 1999-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）