关键词： 非晶硅薄膜 结构特征
作者: 孔光临 吴跃
作者单位: 科学院半导体研究所,国家表面物理实验室,凝聚态物理中心(北京) 北卡罗兰娜大学物理系
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 64～65
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）