双面Si条两维位置灵敏探测器的研制
介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器——双面硅条两维位置灵敏探测器的结构,工作原理,制备工艺及测试结果.该探测器的灵敏面积为50×50 mm2,前面和背面都被分为相等宽度的16条(每条的面积为50 ×3mm2),在微电子工艺线上采用平面工艺和离子注入技术制备.在-25伏偏压下,各条的反向漏电流都＜ 10nA,对前面16条的能量分辨进行了初步测量,得到2.2％的能量分辨率(对5.486MeVα-粒子).
放射性物理实验设备 双面硅条探测器 平面工艺 离子注入技术 测量精度
谭继廉 卢子伟 张宏斌 王柱生 祖凯玲 鲍志勤 李春艳 龚伟 田大宇 于民 王金延 靳根明 张录 李占奎 徐瑚珊 李海霞 韩励想 魏计房 戎欣娟 王秀华
中国科学院近代物理研究所,兰州730000 北京大学微电子研究院,北京100871
国内会议
第七届中国核学会“三核”论坛暨中国毒理学会放射毒理委员会第八次全国会议
长春
中文
180-184
2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）