AT切割石英晶体板面剪切振动模态特性研究

摘要：

基于Mindlin板的理论,得到AT切割石英晶体板面剪切振动的频谱图,以及面剪切振动的频率温度特性结果,并且与实际样品的量测值进行比对.本文分别以三维精确理论和一阶板的理论对AT切割石英晶体板Z轴方向面剪切振动进行理论推导,计算出的频谱图可帮助晶片设计人员选择合适的晶片尺寸来避开厚度剪切振荡和面剪切振荡的偶合.温度特性对石英晶体谐振器来说至关重要,本文通过理论推导得出了Z轴方向的面剪切振荡的频率温度特性结果,这部份的结果结合频谱图可以帮助晶片设计人员找到在一定的温度范围内都无偶合情况出现的晶片尺寸.实际的样品量测的结果也被附加于论文中,用于和理论计算结果的比较.

关键词： AT切割石英晶体板 面剪切 振动模态特性 三维精确理论 一阶板理论

作者: 潘俏俏 王骥 阳丽君 赵岷江

作者单位: 315800 浙江省宁波市北仑区黄山西路189号台晶(宁波)电子有限公司 315211 浙江省宁波市江北区风华路818号宁波大学机械工程与力学学院压电器件技术实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 123-127

在线出版日期: 2010-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）