A MEMS LAMB WAVE MICRODEVICE BASED ON ZNO THIN FILM

关键词： Lamb wave MEMS ZnO film Piezoelectric composite plate

作者: Meng-wei LIU Ming-xin XUE Jun-hong LI Xin LI

作者单位: Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100190, China,21 Bei-Si-huan-Xi Road, School of Information Science and Engineering, Shenyang University of Technology,111 Shenliao West R

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:英文

页码: 455-459

在线出版日期: 2010-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）