SIMULATION OF ZNO BASED FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR BY MODIFIED BUTTERWORTH-VAN DYKE MODEL

关键词： Film bulk acoustic resonators Butterworth-Van Dyke model simulation mass load

作者: Zhi YAN Xiao-jie ZHOU

作者单位: Material Engineering College, Shanghai University of Engineering Science,333 Longteng Road, Shanghai 201620, China

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:英文

页码: 491-496

在线出版日期: 2010-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）