基于LabVIEW的压电陶瓷相移器控制系统
压电陶瓷(PZT)作为微位移的执行装置,在光学测量方面得到广泛的应用.为了准确方便地实现对压电陶瓷相移器的控制,本文运用虚拟仪器软件设计压电陶瓷相移器驱动、校正与位移精度控制系统.运用LabVIEW编写的程序采集数据并进行分析和计算PZT的位移量,并提出一种新的方法测出PZT驱动电压与位移曲线;系统也可以通过LabVIEW控制数据采集卡输出电压驱动PZT移动的位移达到纳米(nm)量级,提高了PZT的移动精度.
光学测量 压电陶瓷 相移器 控制系统 移动精度 程序开发环境
刘赣勇 吕晓旭 张庆生 余清婷
华南师范大学信息光电子科技学院,广东广州,510006
国内会议
广州
中文
118-123
2008-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）