微角振动陀螺仪的非线性行为与改进方案
本文讨论了硅微机械角振动陀螺仪的设计过程中所遇到的一个非线性振动问题.通过实验了解到,这种非线性振动对陀螺仪的工作精度有比较大的影响.本文尝试运用非线性振动相关理论和结构动力学的方法来分析问题,找到非线性效应产生的主要来源,进而尝试提出合理的改进方案,并对改进方案的可行性进行估计.
微机械角振动陀螺仪 非线性振动 结构动力学 工作精度
金志昊 赵前程 陈璞
北京大学工学院力学空天技术系 & 湍流与复杂系统国家重点实验室 北京大学微电子研究所,北京,100871
国内会议
郑州
中文
142-145
2010-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）