SiC单晶片线锯切割过程切割力的建模

摘要：

SiC单晶具有良好的物理和机械性能,广泛用于大功率器件和IC行业,但由于材料高的硬度和脆性,使其加工过程成为难点.本文就切割过程中切割力进行建模分析,静态建模用曲面响应法进行实验拟合,得到对切割力影响最为显著的因素.为了对系统的切割力进行控制,将模型简化为单因素模型,并对简化后模型的误差分析,表明该简化模型的可行性.

关键词： 碳化硅单晶 切割过程 切割力 曲面响应法

作者: 梁列 王嘉宾 李淑娟

作者单位: 西安理工大学 机械与精密仪器学院 西安 710048

会议类型: 国内会议

会议名称: 陕西省机械工程学会第十次代表大会暨学术年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 308-312

在线出版日期: 2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）