用CCD影像法测量工件二维尺寸的误差研究
近10年来，图像处理、图像传感、光电转换技术的快速发展提高了影像测量仪的测量准确度，使得影像测量仪能检测复杂和高精度的工件几何尺寸，常用的影像测量仪的最大允许误差能达到±(2+200/L)μm，其中L为测量长度，分辨力为0.1μm。影像测量仪一般由机械主体、标尺系统、探测系统、驱动控制系统和软件系统组成，影像测量仪对工件测量过程是运用各系统的协同工作来完成的。首先把被测工件按要求摆放在机台上，驱动控制系统来控制运动部件，使得在X,Y,Z3个轴向移动到合适的坐标位置，并使被测工件的图像能清晰地被CCD和照明系统捕捉到，CCD再进行光电转换程序使得图像数字化，最后通过影像测量分析软件获得所需的几何尺寸，从而完成工件测量的整个流程。其误差来源主要有影像测量仪的固有误差，工件平面与Z轴不垂直引入的误差光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。
工件测量 二维尺寸 电荷耦合器件影像法 误差分析
周罡 黄红平
苏州市计量测试研究所
国内会议
南京
中文
27-29
2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）