W过渡层厚度对类金刚石薄膜结构和机械性能的影响
采用离子束复合磁控溅射沉积技术在硬质合金上制备了不同W过渡层厚度的类金刚石薄膜,重点考察了过渡层厚度对薄膜结构成分、表截面形貌、机械性能和膜基结合性能的影响.研究结果表明:类金刚石薄膜结构性能强烈依赖于W过渡层的厚度.随过渡层厚度的增加,C-C sp3含量先增加后降低,而残余应力逐渐降低;薄膜基体成分扩散发生界面机械互锁现象;当过渡层厚度为351nm时,薄膜硬度达到最大值,为26GPa,膜基结合力达70N以上,与未镀过渡层的薄膜体系相比提高了40％.
硬质合金 类金刚石薄膜 钨过渡层厚度 组织结构 机械性能
卓国海 赵运才 李晓伟 柯培玲 汪爱英
江西理工大学,江西赣州 341000;中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江省海洋材料与防护重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波 315201 江西理工大学,江西赣州 341000 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江省海洋材料与防护重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波 315201
国内会议
宁波
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58-61
2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）