FIB+SEM双束系统在地学领域的应用现状及发展趋势

摘要：

地外样品具有珍贵量少的特点，往往要求在尽可能少的样品消耗的前提下，获取尽可能多的研究结果。双束系统功能完备，不仅能够对同一样品完成SEM,EDS力NDS.EBSD3等分析，一次性获得样品的形貌、成分与结构信息，还能够利用离子束进行精细加工，进行截面样品，透射电镜样品制备以及三维重构分析，可以满足地外样品分析样品消耗量少并获取尽可能多研究结果的要求。

关键词： 地外样品 双束系统 扫描电镜 聚焦离子束

作者: 刘以然 王世杰 李雄耀 刘秀明

作者单位: 中国科学院地球化学研究所月球与行星研究中心,贵州 贵阳,550002;中国科学院大学,北京,100049 中国科学院地球化学研究所环境地球化学国家重点实验室,贵州 贵阳,550002 中国科学院地球化学研究所月球与行星研究中心,贵州 贵阳,550002

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届“月球·行星·科学与探测”学术研讨会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 130-131

在线出版日期: 2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）