连续和大规模高纯硅烷生产技术的研究进展

摘要：

本文简要介绍了电子级硅烷的应用领域,在此基础上,重点介绍了4种具有实用价值的硅烷制备方法,包括镁硅法、锂硅法、氟硅法和氯硅法,针对各个工艺存在的问题,开发了改进的氯硅法,显著提高了三氯氢硅歧化的转化效率,实验室获得了90％的效率,从而使得该技术表现出了良好的工业应用前景.

关键词： 高纯硅烷 制备工艺 技术改造 生产效率

作者: 肖文德 孟国均 张建五

作者单位: 上海交通大学;中国平煤神马集团首山天瑞科技有限公司 中国平煤神马集团首山天瑞科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十八次年会

会议地点: 浙江萧山

会议语种:中文

页码: 8-9

在线出版日期: 2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）