日本电子特气业的技术与市场新观察

摘要：

本文综述了在2013年～2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化,根据不同应用领域对电子特气的需求,开发出新技术和新装备,为电子特气大规模生产做贡献.

关键词： 电子特殊气体行业 市场分析 技术进步 日本

作者: 祝大同

作者单位: 中国电子材料行业协会经济技术管理部,北京 100006

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十八次年会

会议地点: 浙江萧山

会议语种:中文

页码: 17-21

在线出版日期: 2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）