浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术

摘要：

对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺.针对不同来源的原料,通过对精馏参数和吸附剂等的调整得到合格的产品,符合半导体行业使用要求.

关键词： 电子级八氟环丁烷 精馏工艺 吸附工艺 产品质量

作者: 陈艳珊 廖恒易

作者单位: 佛山市华特气体有限公司,广东佛山 528234

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十八次年会

会议地点: 浙江萧山

会议语种:中文

页码: 59-62

在线出版日期: 2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）