等离子体在印制板制造中的应用

摘要：

等离子体在印制板制造中的应用越来越广泛,本文通过对等离子处理主要工艺参数和实际生产中比较多的几种应用进行试验分析,得出主要工艺参数的优化.试验结果表明随着CF4含量的减小,蚀刻速率迅速增大;随着射频功率(RF)的增大,蚀刻速率缓慢增大;而随着气体流量的增加,蚀刻速率也增大;加入氮气或升高温度都能有效提高蚀刻速率.另外,等离子处理能有效清洁印制板表面和去除干膜.

关键词： 印制电路板 制造工艺 等离子体 参数优化

作者: 徐火平 孙静静 王琛 刘刚

作者单位: 中国电子科技集团第十五研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国青年印制电路学术年会

会议地点: 浙江余杭

会议语种:中文

页码: 329-337

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）