Al2O3薄膜的热氧化形成及缺陷控制

摘要：

对比研究了纯铝在600℃含和不含水蒸气的空气中的氧化情况,通过水蒸气氧化引入缺陷实现氧化加速,再利用退火消除缺陷.Raman散射光谱的结果表明,在有无水蒸气的空气中600℃形成的氧化膜主要物相均为γ-Al2O3;利用电化学阻抗谱分析了氧化膜的完整性并估算氧化膜的厚度,发现水蒸气环境氧化形成的氧化膜厚度更大,将水蒸气氧化后的氧化膜进行退火处理得到了完整性提高的较厚氧化膜;紫外-可见光谱分析证实了电化学阻抗谱的测试结果,即水蒸气氧化后的氧化膜出现了一定的增厚,吸收率升高.

关键词： 核反应堆 氧化铝薄膜 热氧化技术 退火处理

作者: 曾诚 凌云汉 李山桐 饶咏初

作者单位: 清华大学材料科学与工程学院,北京 100084 表面物理与化学重点实验室,四川 绵阳718信箱35分箱 621907

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国腐蚀与防护学会能源工程专业委员会2014年学术交流会

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 112-115

在线出版日期: 2014-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）