等离子喷涂8wt.%YSZ耐刻蚀涂层厚度对结合强度的影响

摘要：

随着等离子喷涂技术的发展,加之YSZ陶瓷涂层的高强度、化学稳定性等优点,使其得到了迅速发展.本研究采用等离子喷涂技术制备了不同厚度的8 wt.％氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层,通过实验分析了涂层厚度对结合强度的影响.结果表明:随着涂层厚度的增加,涂层的结合强度呈下降趋势,且厚度增加至一定程度时,结合强度的下降幅度减小.

关键词： 氧化钇稳定氧化锆陶瓷涂层 等离子喷涂工艺 涂层厚度 结合强度

作者: 王聪瑜 夏洋 贾成厂 贾永昌 张庆钊 王文东 刘金虎 张有茶

作者单位: 北京美桥电子设备有限公司,北京,100022;北京科技大学,北京,100083 中科院微电子研究所,北京,100029 北京科技大学,北京,100083 北京廊桥材料技术发展有限公司,北京,100089

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届国际热喷涂研讨会暨第十八届全国热喷涂年会(CNTSC`2014)

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 42-47

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）