低表面浓度发射极对产业化高效背钝化电池(PERC)的影响

摘要：

研究和优化了一种分步式扩散,并将其应用于PERC的选择性发射极上,选择性发射极的形成是通过刻蚀发射极的方式形成.相较于传统的一步式扩散,分步扩散具有更低的表面浓度以及饱和电流密度J0e.对比了分步扩散三种不同方阻(45Ω/□,55Ω/□,65Ω/□)以及一步扩散方阻(60Ω/□)的接触电阻Rs,刻蚀前后的饱和电流密度J0e.,刻蚀后的方阻都控制在140Ω/□左右.相对于传统的一步式扩散,方阻55Ω/□的分步式扩散的效率最高,提升了0.15％.

关键词： 单晶高效背钝化电池 低表面浓度发射极 分步式扩散机制 饱和电流密度

作者: 叶枫 邓伟伟 陈达明 董建文 丁建宁 袁宁一 冯志强 Pierre J. Verlinden

作者单位: 江苏省光伏科学与工程协同创新中心,常州大学,213164;光伏科学与技术国家重点实验室,常州天合光能,213031;江苏省太阳能电池材料与技术重点实验室,常州大学,213164 光伏科学与技术国家重点实验室,常州天合光能,213031 江苏省光伏科学与工程协同创新中心,常州大学,213164;江苏省太阳能电池材料与技术重点实验室,常州大学,213164 江苏省光伏科学与工程协同创新中心,常州大学,213164;光伏科学与技术国家重点实验室,常州天合光能,213031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 65-69

在线出版日期: 2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）