低压扩散在晶硅太阳电池中的应用

摘要：

低压扩散是一种通过改善炉管气密性、增加真空系统实现的扩散方式,真空系统提供低压力氛围,从而增加三氯氧磷分子平均自由程,提高扩散均匀性、稳定性和成膜致密性;通过低压扩散工艺,可以获得均匀的p-n结构,更易实现浅结高方阻扩散工艺,提升电池转换效率.同时低压扩散以其优异的方阻均匀性大大提高单管产能,降低制造成本.

关键词： 晶硅太阳电池 低压扩散工艺 转换效率 电性能

作者: 田松兴 董广斌 李宝磊

作者单位: 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司,江苏 225000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 70-72

在线出版日期: 2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）