激光烧结工艺研究
对激光烧结工艺进行研究,实验中采用纳秒激光器对PECVD沉积双层钝化膜后丝网印刷Al并烧结的表面进行激光点烧结,然后通过激光切割出合适尺寸样品,使用直排四探针测量平台表征其激光烧结电阻.本文研究了脉冲频率、单脉冲能量、单点脉冲数对激光烧结电阻的影响,发现随着单脉冲能量以及脉冲数的增加,点接触电学性能可以得到最优化值.
晶体硅太阳能电池 激光烧结工艺 性能表征 电学性能
刘瑞珉 王学孟 熊小敏 沈辉
中山大学太阳能系统研究所,广州 510000;顺德中山大学太阳能研究院,佛山 528000
国内会议
北京
中文
87-94
2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）