皮秒激光与纳秒激光在PERC电池背面去膜的对比分析

摘要：

ERC太阳电池结构主要针对电池的背面进行优化,形成局域背场,大大减少了背表面的复合,提高了电池的效率.采用532nm的皮秒和纳秒激光烧蚀掉背面膜层来实现背面的局部接触区域,对比了去膜后的表面形貌,硅片损伤情况,然后通过适当的烧结工艺,形成较好的局域Al背场,最后分析了两种激光器制作的电池的效率差别的原因.

关键词： 晶体硅太阳电池 局域背场 烧蚀工艺 皮秒激光 纳秒激光 表面形貌

作者: 尹庆磊 王学孟 文峰 沈辉

作者单位: 顺德中山大学太阳能研究院,佛山 528300 国家光伏装备工程技术研究中心、中国电子科技集团公司第四十八研究所 顺德中山大学太阳能研究院,佛山 528300;中山大学太阳能系统研究所,广州 510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 125-129

在线出版日期: 2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）