离子注硼n型太阳电池的退火特性研究
对比研究了离子注硼发射极n型太阳电池的快速热退火和恒温炉管退火特性.通过TCAD软件模拟和SIMS测试,从理论上研究了硼杂质和团簇缺陷的扩散分布规律.通过少子寿命测试(QSSPC)得知,增加热预算将显著提高载流子激活率,降低发射极饱和电流密度.制备了钝化发射极太阳电池,从器件水平上研究了退火条件对电池性能的影响.结果发现利用恒温炉管退火20min的电池效率最优,达到18.85％,而采用更低热预算退火条件的电池性能较差.
n型太阳电池 离子注硼发射极 退火特性 电性能
梁鹏 韩培德 胡少旭
中国科学院半导体研究所,北京 100083
国内会议
北京
中文
175-180
2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）