用于背结-背接触电池的低反射四甲基氢氧化氨表面制绒

摘要：

本文采用具有良好的各项异性腐蚀特性、腐蚀速率高且无金属离子污染的四甲基氢氧化氨(TMAH)方法制备金字塔绒面，通过采用扫描电子显微镜和光学反射谱测试技术探索了不同腐蚀条件包括:不同TMAH浓度、腐蚀时间、腐蚀温度以及不同腐蚀液添加剂浓度制备的表面金字塔结构的形貌和光学特性，并最终获得在600nm波长反射率为10％的低反射金字塔结构。将TMAH制绒技术成功地用于IBC及异质结一全背电极接触(IBC-HJ)电池制备中，没有发现电池开路电压的下降。

关键词： 背结-背接触晶硅太阳电池 金字塔绒面 四甲基氢氧化氨技术 表明形貌 光学特性

作者: 孙昀 贾锐 张代生 金智 刘新宇

作者单位: 中国科学院微电子研究所,北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 198-198

在线出版日期: 2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）