非晶硅单结电池优化
采用甚高频等离子体增强型化学气相沉积(VHF-PECVD)法,在面积为1245mm×635mm的玻璃衬底上,制备a-Si∶H单结太阳电池.系统地研究了氢稀释比、沉积压力、沉积功率、沉积温度等参数对电池初始功率和光致衰减后稳定功率的影响.结合各个沉积参数的最佳条件,最终获得了有效面积光致衰退8%的非晶硅单结电池.将该非晶硅单结电池运用于非晶硅/微晶硅双结电池,非晶硅/非晶硅/非晶硅锗和非晶硅/非晶硅锗/非晶硅锗三结电池,叠层电池的稳定效率都有明显改进.
非晶硅单结太阳能电池 等离子体增强型化学气相沉积法 工艺优化 转换效率
周星红 杨少飞 蓝仕虎 胡安红 曲铭浩 张津岩 李沅民 徐希翔
汉能高端装备产业集团成都研发中心,610200
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2014-11-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)