两步生长法ZnO∶B-TCO薄膜种籽层特性研究

摘要：

采用新型的低压化学气相沉积(LPCVD)镀膜工艺技术-两步生长法(即第一步在玻璃基板上沉积ZnO∶B种籽层,第二步再调整工艺参数来快速生长ZnO∶B薄膜)沉积和制备ZnO∶B-TCO薄膜.研究表明,其中种籽层掺杂情况对整个TCO膜层的光学和电学性能有重要的影响,且当掺杂比(B2H6/DEZ)为0.4时,所制备膜层的光学和电学综合性能最优.

关键词： 太阳能电池 掺硼氧化锌薄膜 两步生长法 低压化学气相沉积镀膜工艺 电学性能 光学性质

作者: 张恒生 何湘衡 熊伟 王芳 李廷凯

作者单位: 湖南共创光伏科技有限公司,衡阳 421005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 301-303

在线出版日期: 2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）