磁控溅射后硫化法制备铜锌锡硫薄膜太阳能电池

摘要：

本团队采用磁控溅射后硫化法制备铜锌锡硫电池。先在玻璃衬底上共溅射SnS2,Cu以及ZnS三种化合物，然后在硫化氢气氛中高温退火而成。在前驱体中引入金属化合物ZnS，减少了在退火过程中因为元素挥发引起的组分偏差因素。通过了解退火条件与组分流逝之间的关系，可以再退火过程中能够通过适当的参数控制来获取想要的组分，从而制备高质量的CZTS薄膜。目前通过调整前驱体组分，优化工艺条件，可以制备出效率超过8％的铜锌锡硫薄膜太阳能电池。

关键词： 铜锌锡硫薄膜太阳能电池 磁控溅射技术 硫化法 光电转换效率

作者: 冯叶 程冠铭 于冰 郭延璐 刘子麒 杨春雷 肖旭东

作者单位: 中国科学院深圳先进技术研究院,深圳 515005 香港中文大学,香港沙田 中国科学院深圳先进技术研究院,深圳 515005;香港中文大学,香港沙田

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 69-70

在线出版日期: 2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）