斜角沉积制备可调节纳米锥状阵列的研究

摘要：

柱状蛾眼结构光学薄膜良好的减反射性能对于要求工作在较宽光谱的光电器件具有十分重要的意义.本文采用电子束蒸发的方式,通过控制蒸发速率、基底的旋转方式和沉积角度制备出直径变化的纳米柱阵列.研究了斜角沉积过程中沉积角度及基底旋转对薄膜形貌的影响,并讨论了纳米柱阵列结构的形成机理.

关键词： 可调节纳米锥状阵列 制备工艺 斜角沉积过程 表面形貌

作者: 张浩 娄朝刚

作者单位: 东南大学电子科学与工程学院,南京 210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 244-248

在线出版日期: 2014-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）