亚微米量级空间分辨力的光反射热成像技术的原理及应用
本文介绍了基于光反射原理的热成像技术的需求背景、技术原理、性能参数和典型应用,该技术可以实现200nm-300nm之间的空间分辨力,可以有效地分析微小结构的热分布情况,且能实现低频、高频的瞬态热成像.其突出的空间分辨力适用于微电子器件及MEMS器件的温度检测;同时由于可见光反射率随材料特性的变化,该技术在半导体材料测试方面还存在一些不足.目前,该技术在国外已经被广泛地用于光电子器件、微电子器件、MEMS器件的热分布测试与分析的工作.
电子器件 热分布测试 光反射热成像技术 空间分辨力
翟玉卫 梁法国 吴爱华
中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄050051
国内会议
北京
中文
44-48
2014-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）