关键词： TiN／AIN 纳米多层膜 调制结构
作者: 李戈扬 施晓蓉
作者单位: 交通大学金属基复合材料国家重点实验室中科院上海冶金研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十次全国电子显微学会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 225～226
在线出版日期: 1998-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）