TFT薄膜厚度与光刻图形长寸法的测量

摘要：

本文介绍了膜厚测量装置KMC和线幅测量装置KAR在TFT制作过程中的online应用.主要介绍了KMC使用反射折射光谱原理对3层内的多层膜厚测量和含mark图形的流品膜厚测量;以及KAR使用CCD传感检测对光刻图形线宽、重合精度的测定和周边曝光状况的监控.

关键词： 薄膜晶体管 膜厚测量装置 线幅测量装置 在线监测 光刻图形长寸法

作者: 朱瑶琼 杨旭 王浩 张晓东 吴骏 赵飞

作者单位: 中电熊猫液晶显示科技有限公司,南京,江苏

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014中国平板显示学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 85-87

在线出版日期: 2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）