氧化物薄膜晶体管电学特性工艺改善研究

摘要：

本文论述了液晶显示器制造中铟镓锌氧化物(IGZO)薄膜晶体管的工艺改进.通过一系列实验来选取合适的工艺条件来改善产品特性.较高的IGZO沉积温度、刻蚀阻挡层淬火温度以及较高的钝化层温度能够使产品特性可靠性提高.

关键词： 薄膜晶体管 铟镓锌氧化物 电学性能 工艺优化

作者: 张淼 陈沫 孙静 孙松梅 郑有赞

作者单位: 合肥鑫晟光电科技有限公司 安徽合肥 230012

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014中国平板显示学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 111-112

在线出版日期: 2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）