不同金属电极的制备工艺对有机薄膜晶体管性能影响的研究

摘要：

基于聚合物绝缘材料,采用溶液法旋涂工艺制作有机薄膜晶体管,通过不同栅极和漏极的制备工艺,对比有机薄膜晶体管的器件性能.结果表明,不同金属电极的制备工艺对器件的开态电阻影响明显.当采用lift-off工艺,开态电阻约为4.8×107Ω;采用湿刻工艺对蒸镀在绝缘层材料上的金属电极进行处理,开态电阻会有明显的下降,约为3.6×106Ω.

关键词： 有机薄膜晶体管 金属电极 剥离技术 湿刻工艺 开态电阻

作者: 朱大龙 许鑫 谭特 谢应涛 欧阳世宏 王东平 方汉铿

作者单位: 上海交通大学 电子信息与电气工程学院 电子工程系 TFT-LCD关键材料技术国家工程实验室 上海 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014中国平板显示学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 126-128

在线出版日期: 2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）