ELA前处理方式改善结晶效果的研究
为了研究ELA前处理方式对结晶效果的影响,调整ELA Pre-clean的参数(清洗转速、HF-Clean时间、03处理电压),然后进行ELA晶化过程,借助SEM和AFM等手段对结晶后的Poly-Si薄膜微结构进行了分析研究.结果发现:清洗转速对结晶效果影响最大;在一定条件下可生长出晶粒排列一致、晶粒较大的Poly-Si,随着镭射扫描移动距离(Scan Pitch)的增大,由于结晶固化时间不足,晶粒排列逐渐混乱、样品的最佳能量密度值和表面粗糙度也相应增大.
有源矩阵有机发光二极管 多晶硅薄膜 准分子镭射晶化法 晶粒大小
李亚 胡国仁 李子健 唐丽娟 戴天明 徐源竣 汤富雄 许宗义
深圳市华星光电技术有限公司AMOLED技术开发部,深圳 518132
国内会议
南京
中文
146-148
2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）