透射式硅基液晶微显示器设计及工艺方法研究

摘要：

本文设计并研制了一种单色透射式硅基液晶微显示器,详细论述了透射式硅基液晶微显示器的整个研制工艺流程.为实现透射式结构,驱动背板芯片采用SOI CMOS工艺设计流片;使用两次键合的工艺完成了驱动背板芯片硅外延层的剥离和转移,掌握了实现透明背板的关键技术.在此基础上,完成了SXGA单色透射式硅基液晶微显示器的试制.

关键词： 透射式硅基液晶微显示器 结构设计 工艺流程 性能参数

作者: 李超 杨洪宝 杨淼 曹允 樊卫华 王绪丰

作者单位: 国家平板显示工程技术研究中心,南京,210016;中国电子科技集团公司第五十五研究所,南京,210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014中国平板显示学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 202-205

在线出版日期: 2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）