建立一种准确测定氢气、氖气和氩气三元混合气的分析方法

摘要：

介绍了利用热导气相色谱分析仪测定氢气、氖气和氩气的三元混合气中各组分含量的分析方法,该方法能够满足电子芯片保护气产品质量检测的要求.

关键词： 热导气相色谱分析仪 三元混合气 组分含量 测定方法

作者: 谢程

作者单位: 武汉钢铁集团氧气有限责任公司,武汉市 青山区 430083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年全国冶金企业制氧专业年会

会议地点: 承德

会议语种:中文

页码: 38-40

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）