高分子电容式湿度传感器热真空试验技术研究

摘要：

研究了真空环境和温度变化综合作用下湿度传感器输出变化特性,从机理上分析了产生该现象的原因,通过试验方式得到输出与热真空条件之间的变化关系.试验结果表明:在10-4 Pa以上的真空条件下,输出变化不影响传感器的灵敏度;在10-5 Pa以下的热真空环境对传感器的灵敏度影响很大,变化率最大可达8.5％.

关键词： 高分子电容式湿度传感器 热真空试验技术 检测灵敏度 输出变化特性

作者: 王朝晖 张巍 尤佳

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十九研究所化学传感器研究中心,黑龙江 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届中国湿度与水分学术交流会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 53-55

在线出版日期: 2014-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）