粉末溅射金属氧化物薄膜气敏元件

摘要：

本文指出了薄膜元件能否实用化的关键在气敏层的稳定性，并提出了粉末溅射和高能溅射是气敏层稳定性的保证.说明了能实用化的薄膜元件是否能生产还要有较高的成品率,这就要求对晶体管光刻工艺进行改造和发展.同时给出了SnO2/16％CeO2,ZnO/l％ CeO2,Fe2O3/2％ CeO2,TiO2/2％ CeO2,ZnSnO3(ZnO+SnO2)元件的气敏特性.

关键词： 粉末溅射金属氧化物薄膜 气敏元件 晶体管光刻工艺 稳定性分析

作者: 张礼 赵志桓 曲建飞 王传超 裘南畹

作者单位: 济南半导体元件所,山东 济南 250014 山东大学物理学院,山东 济南 250011

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届中国湿度与水分学术交流会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 77-80

在线出版日期: 2014-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）