薄膜气敏材料的性能和研制薄膜气敏元件的工艺探索

摘要：

给出了薄膜气敏材料性能的测试结果:存在最佳灵敏度膜厚l*(l*≈1500 (A));动态特性;膜越薄响应越快;存在最佳掺杂(CeO2)量x％,x的取值范围为5～15.提出了复合绝缘膜Si/SiO2/Al2 O3衬底;提出了研制薄膜的粉末溅射;给出了研制电导气敏薄膜元件的工艺流程,并对各工艺进行了必要的说明.

关键词： 薄膜气敏元件 薄膜气敏材料 工艺流程 性能评价

作者: 姜维宾 崔艳华 郝福平 褚文珊 裘南畹

作者单位: 济南半导体所,山东 济南 250014 山东大学物理学院,山东 济南 250011

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届中国湿度与水分学术交流会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 83-84

在线出版日期: 2014-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）