微电子散热制冷技术的最新进展

摘要：

本文首先从温度对微电子芯片、电子设备可靠性影响的角度叙述了微电子制冷技术的重要性,然后从空气冷却、液体冷却、半导体制冷,以及近几年出现的微电子制冷的新技术、新机理、新材料等几个方面描述了微电子制冷技术的最新进展现状。

关键词： 微电子散热制冷技术 温度控制 产品设计

作者: 郭新军 蔡京辉

作者单位: 中国科学院理化技术研究所,北京 100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 25-30

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）