高光束质量半导体激光器研究

摘要：

本文阐述了从半导体激光器芯片内部结构出发，研制出激射波长为940nm波段的光栅分布反馈半导体激光器，其远场发散角由原来的36°和7.3°压缩到16.7°和2.7°，线宽1.4nm压缩为0.09nm。采用飞秒激光加工技术，研制出椭圆形非对称8多阶波带片，用于边发射半导体激光器的光束整形，其快轴和慢轴发散角由原来的65°和24°，分别整形到6mrad和101mrado。

关键词： 半导体激光器 芯片结构 飞秒激光加工技术 光束质量

作者: 秦莉 贾鹏 陈泳屹 张星 张建 宁永强

作者单位: 中科院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室 吉林 长春130033 中科院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室 吉林 长春130033;中国科学院大学 北京 100049

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 186-187

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）