四波长硅基混合微盘激光器阵列

摘要：

基于DVS-BCB键合技术制作出了四波长硅基微盘激光器阵列，微盘chl-ch4半径分别为8.36, 8.34, 8.32和8.3μm，硅波导宽度为1.7μn，高为340 nm。相邻两微盘间距约为40μm。根据激光器谐振条件:2πRneff=mλ，可以得到在同一纵模阶数下，由于20 nm的半径差导致的激射波长差约为3.7nm。

关键词： 混合微盘激光器阵列 四波长硅基 性能表征 数值分析

作者: 隋少帅 唐明英 杜云 黄永箴

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 188-189

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）