新型低阳极结构快速二极管特性研究

摘要：

新型低阳极二极管通过孔注形成”波浪形”有源区结构,实现高掺杂P区和低掺杂P区具有规律性的浓度梯度变化,从而保证器件工作过程中电流的均匀性和低漏电流.此结构在制造实现时,工艺步骤简单且无需增加掩膜版即可实现发射极注入效率的自调节,制造成本低.与正常结构二极管相比,其综合性能大概提高了22％,与知名厂商样管Qrr的差距减小5.7倍,从而减小开关器件的工作损耗;而反向电流峰值减小了29％,反向电压峰值减小了11％,反向恢复时间减小11％,特性略优于国际知名厂商样管.

关键词： 功率快速二极管 低阳极发射效率 通态压降 反向恢复电荷 性能表征

作者: 何延强 刘钺杨 吴迪 金锐 温家良

作者单位: 国网智能电网研究院电工新材料及微电子研究所,北京 102211

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 352-357

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）