电容式MEMS加速度传感器封装技术

摘要：

微机电系统加速度传感器由于体积小、质量轻、成本低、可靠性高等优点而备受关注,但在实际应用中MEMS高量程加速度传感器常常由于抗高过载能力较差而导致结构失效.为保证MEMS高量程加速度传感器在应用时的可靠性.一种电容式MEMS加速度传感器,通过MEMS芯片的设计、封装材料的选择及封装工艺的控制,使其达到较高的可靠性要求.

关键词： 加速度传感器 封装技术 微机电系统 可靠性分析

作者: 陈学峰 任世飞 杨小平

作者单位: 苏州固锝电子股份有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 393-395

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）