基于MEMS的新型红外光源

摘要：

本设计中，采用对多晶硅进行不完全干法刻蚀的方法制备黑硅，并将此作为MEMS红外光源的辐射层材料，提高了光源在中红外波段的发射率。另外，本设计采用独特的完全悬浮结构，降低了光源通过热传导的能量损耗。对比现有的MEMS红外光源，本设计拥有完全的悬浮薄膜结构，保证了光源拥有更低的功耗，更高的辐射效率。另外，黑硅的使用将进一步提高光源的稳态和动态性能。

关键词： 红外光源 微机电系统 黑硅 发射率

作者: 任耀辉 谭秋林 欧文 明安杰 毛海央 袁烽 张宇 张乐

作者单位: 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051;江苏物联网研究发展中心 智能传感器工程中心,江苏 无锡 214135 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西 太原 030051 江苏物联网研究发展中心 智能传感器工程中心,江苏 无锡 214135;中国科学院微电子研究所 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室 集成电路先导工艺研发中心,北京 100029 江苏物联网研究发展中心 智能传感器工程中心,江苏 无锡 214135

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 400-402

在线出版日期: 2014-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）